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一种多次扩散石英舟
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实用新型
专利类型 -
未知
专利状态 -
2022205398547
专利号
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专利信息
数据仅供参考，具体信息可联系在线顾问
| 专利号 | 2022205398547 | 专利名称 | 一种多次扩散石英舟 |
|---|---|---|---|
| 专利类型 | 实用新型 | 国际分类 | H01L21/673(2006.01),H01L31/18(2006.01) |
| 申请人 | 苏州光协光电科技有限公司 | 申请地址 | 215000 江苏省苏州市吴江七都镇新村二路160.162.166.168 |
| 发明人 | 孙建平 | 申请日期 | 2022-03-14 |
| 下证状态 | 未知 | 更新时间 | 2025-01-13 07:19:52 |
| 专利摘要 | 本实用新型公开了一种多次扩散石英舟，具体涉及石英舟技术领域，包括两个舟支板，两个所述舟支板的上方均设有调节架，两个所述调节架之间设有两个上石英棒，两个所述舟支板之间设有两个下石英棒，所述上石英棒和下石英棒上均开设有若干个插槽，所述调节架的底部固定连接有两个调节支柱，所述调节支柱的底端外表面穿设于舟支板的内部，所述舟支板上开设有流通口和两个调节槽口，且两个所述下石英棒分别位于两个所述调节槽口的内部，所述舟支板内部设有固定组件。本实用新型能有效在多次扩散使用时根据所需对石英舟进行调节，以适应不同尺寸的硅片，方便石英舟装载硅片，灵活适应性和实用性较强。 | ||
交易流程
转让材料
| 买卖双方需提供 | 平台提供 | 转让后买方可获得 | ||
|---|---|---|---|---|
| 企业 | 个人 | 专利代理委托书 专利权转让协议 办理文件副本请求书 发明人变更声明 | 专利证书 手续合格通知书 专利登记簿副本 | |
| 买方 | 企业营业执照 企业组织机构代码证 | 身份证 | ||
| 卖方 | 企业营业执照 专利证书原件 | 身份证 专利证书原件 | ||
服务保障
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