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扩膜载台治具

  • 实用新型

    专利类型
  • 未知

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  • 2021229470617

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专利信息

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专利号 2021229470617 专利名称 扩膜载台治具
专利类型 实用新型 国际分类 H01L21/67
申请人 三河市益盈鼎裕科技有限公司 申请地址 河北省廊坊市三河市燕郊开发区迎宾路北路东侧、神威环岛东北角创业大厦A510室
发明人 孙涛涛 申请日期 2021-11-26
下证状态 未知 更新时间 2025-01-12 07:45:32
专利摘要 本实用新型涉及治具领域,具体为扩膜载台治具,包括第一感应器安装孔和面板,所述面板的内侧开设有标识内槽,所述标识内槽的外部开设有晶片标识外槽,所述包边的两侧开设有槽口,所述面板的底部开设有加热板安装槽,所述第二感应器安装孔的上方开设有安装螺丝孔,所述加热板安装槽的内侧开设有热电偶安装孔,所述标识内槽的下方开设有空腔,所述滑杆的外部开设有套环。该扩膜载台治具,来轻易识别,放置人员操作错误,扩膜包边可在扩膜完成裁切后对扩膜环起到包膜作用,从而使扩膜后晶片不收缩,此治具背部可以在加热板安装槽放置加热板以及热电偶安装孔安装热电偶来对此治具进行加热以及温度监控,使扩膜安全温度作业。

交易流程

转让材料

买卖双方需提供 平台提供 转让后买方可获得
企业 个人 专利代理委托书
专利权转让协议
办理文件副本请求书
发明人变更声明
专利证书
手续合格通知书
专利登记簿副本
买方 企业营业执照
企业组织机构代码证
身份证
卖方 企业营业执照
专利证书原件
身份证
专利证书原件

服务保障

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