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用于研磨真空吸盘的加工工具及加工装置
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实用新型
专利类型 -
未知
专利状态 -
2021222421893
专利号
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专利信息
数据仅供参考，具体信息可联系在线顾问
| 专利号 | 2021222421893 | 专利名称 | 用于研磨真空吸盘的加工工具及加工装置 |
|---|---|---|---|
| 专利类型 | 实用新型 | 国际分类 | B24B37/10,B24B37/11,B24B41/047 |
| 申请人 | 上海锦晟电子科技有限公司 | 申请地址 | 上海市浦东新区上丰路977号1幢B座273室 |
| 发明人 | 朴元日 | 申请日期 | 2021-09-15 |
| 下证状态 | 未知 | 更新时间 | 2025-01-12 07:41:23 |
| 专利摘要 | 本实用新型提供了一种用于研磨真空吸盘的加工工具及加工装置，涉及晶圆加工技术领域，解决了现有技术中存在的缺少专门对多凸点真空吸盘上的密封环面进行加工的加工工具的技术问题。该装置包括研磨主体，其中，所述研磨主体用以研磨真空吸盘上的待研磨件，所述研磨主体的端部设置有避让孔，所述待研磨件的中部能伸入到所述避让孔中。 | ||
交易流程
转让材料
| 买卖双方需提供 | 平台提供 | 转让后买方可获得 | ||
|---|---|---|---|---|
| 企业 | 个人 | 专利代理委托书 专利权转让协议 办理文件副本请求书 发明人变更声明 | 专利证书 手续合格通知书 专利登记簿副本 | |
| 买方 | 企业营业执照 企业组织机构代码证 | 身份证 | ||
| 卖方 | 企业营业执照 专利证书原件 | 身份证 专利证书原件 | ||
服务保障
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