欢迎来到中细软旗下技术转移平台
请登录技术转移平台
-
-
新型高溅射率磁控旋转圆柱靶
-
实用新型
专利类型 -
未知
专利状态 -
2020233209663
专利号
-
专利信息
数据仅供参考，具体信息可联系在线顾问
| 专利号 | 2020233209663 | 专利名称 | 新型高溅射率磁控旋转圆柱靶 |
|---|---|---|---|
| 专利类型 | 实用新型 | 国际分类 | C23C14/35 |
| 申请人 | 莱糸真空科技（常州）有限公司 | 申请地址 | 江苏省常州市新北区黄河西路388号—16 |
| 发明人 | 王伟平 | 申请日期 | 2020-12-31 |
| 下证状态 | 未知 | 更新时间 | 2025-01-12 07:15:47 |
| 专利摘要 | 本实用新型公开了新型高溅射率磁控旋转圆柱靶，涉及磁控旋转圆柱靶技术领域，为解决现有的磁控旋转圆柱靶的溅射性能还不够稳定，溅射效率不够高的问题。所述旋转圆柱靶的一端安装有侧边固定块，所述旋转圆柱靶的另一侧安装有连接传动套，所述连接传动套的另一侧安装有固定限位板，所述固定限位板的另一侧安装有固定腔体套，所述固定腔体套的另一侧安装有传动陶瓷轴承，所述传动陶瓷轴承的另一侧安装有部件安装架，所述部件安装架另一侧的上方安装有伺服电机，所述伺服电机的下方安装有电器工作箱，所述部件安装架的另一端设置有连接固定套，所述连接固定套的内侧安装有内部固定片。 | ||
交易流程
转让材料
| 买卖双方需提供 | 平台提供 | 转让后买方可获得 | ||
|---|---|---|---|---|
| 企业 | 个人 | 专利代理委托书 专利权转让协议 办理文件副本请求书 发明人变更声明 | 专利证书 手续合格通知书 专利登记簿副本 | |
| 买方 | 企业营业执照 企业组织机构代码证 | 身份证 | ||
| 卖方 | 企业营业执照 专利证书原件 | 身份证 专利证书原件 | ||
服务保障
优质专利推荐
-
一种纸质垃圾收集及压缩打包装置
专利状态：已下证
专利类型：发明专利
询价
-
一种可根据包裹重量进行自动分类的装置
专利状态：已下证
专利类型：发明专利
询价
-
一种防逃票方法以及装置
专利状态：已下证
专利类型：发明专利
询价
-
一种波峰焊的自动上板下板装置
专利状态：已下证
专利类型：发明专利
询价
- 品类齐全，快速响应
- 专业顾问一对一服务
- 服务流程追踪更安全
400-700-0065
全国免费服务热线
- 细软在线电商小程序
- 细软知识产权公众号
登录成功
您的咨询我们已收到，稍后会有专业顾问与您联系。