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三维有序大孔硅或锗薄膜的制备方法

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专利号 2012104041162 专利名称 三维有序大孔硅或锗薄膜的制备方法
专利类型 发明专利 国际分类 C25D3/54,C25D1/10,C25D9/04,C25D5/00,H01L21/208,C25D1/08
申请人 哈尔滨工业大学 申请地址 黑龙江省哈尔滨市南岗区西大直街92号
发明人 李垚 申请日期 2012-10-22
下证状态 未知 更新时间 2025-01-11 09:23:20
专利摘要 三维有序大孔硅或锗薄膜的制备方法,涉及一种大孔薄膜的制备方法。是要解决现有的制备三维有序大孔硅或者锗薄膜的方法所用设备复杂,成本高,所用原料有毒的问题。方法:一、将铜箔用盐酸浸泡,无水乙醇擦拭,将铜箔固定在玻璃基片上,处理;三、使用三电极的电解池,用恒电势法进行电沉积硅或锗;四、取出电解池中的电解液,干燥,滴加偶联剂三乙基氯硅烷浸泡;五、拆卸电解池,滴加四氢呋喃,清洗,干燥,即得到三维有序大孔硅或锗薄膜。本发明的方法无需复杂设备,操作简便,室温即可实现,能耗低。用于锂离子电池的负极材料领域。

交易流程

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买卖双方需提供 平台提供 转让后买方可获得
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