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专利号	2013104354602	专利名称	极紫外光刻光源中光学收集镜直接车削加工精加工方法
专利类型	发明专利	国际分类	B23B5/00(2006.01),B23B1/00(2006.01),B23P15/00(2006.01)
申请人	哈尔滨工业大学	申请地址	150001黑龙江省哈尔滨市南岗区西大直街92号
发明人	徐强	申请日期	2013-09-23
下证状态	未知	更新时间	2025-01-11 09:22:49
专利摘要	极紫外光刻光源中光学收集镜直接车削加工精加工方法，属于光学及精密加工领域。以解决采用复制法对EUV光源中光学收集镜进行加工，需要先加工出一个与所需收集镜面型匹配的实心轴，再对实心轴表面进行镍沉积处理，之后将镍壳剥离形成收集镜基底。按照此方案的技术，要求加工过程中精度控制非常严格，增加了加工成本的问题。方法是：装卡收集镜筒坯1；精车加工中的粗车加工；半精车加工；精车加工；镀膜处理；手工抛光处理；对经镀膜处理后的收集镜筒坯面型手工抛光处理，使得收集镜筒坯的面型符合收集镜面型，从而完成收集镜的制作。本发明用于加工制作极紫外光刻光源中的光学收集镜。

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