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极紫外光刻光源中光学收集镜直接车削加工粗加工方法
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发明专利
专利类型 -
未知
专利状态 -
2013104384985
专利号
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专利信息
数据仅供参考，具体信息可联系在线顾问
| 专利号 | 2013104384985 | 专利名称 | 极紫外光刻光源中光学收集镜直接车削加工粗加工方法 |
|---|---|---|---|
| 专利类型 | 发明专利 | 国际分类 | B23P15/00,B23B5/00,B23B1/00 |
| 申请人 | 申请地址 | 黑龙江省哈尔滨市南岗区西大直街92号 | |
| 发明人 | 申请日期 | 2013-09-24 | |
| 下证状态 | 未知 | 更新时间 | 2025-01-11 09:22:49 |
| 专利摘要 | 极紫外光刻光源中光学收集镜直接车削加工粗加工方法，它涉及一种光学收集镜粗加工方法，以解决采用复制法对EUV光源中光学收集镜进行加工，需要先加工出一个与所需收集镜面型匹配的实心轴，再对实心轴表面进行镍沉积处理，之后将镍壳剥离形成收集镜基底，按照此方案的技术要求，加工过程中精度控制要求非常严格，增加了加工成本的问题，所述极紫外光刻光源中光学收集镜直接车削加工粗加工方法是按照以下步骤实现：一、坯料粗车，首先将铝合金坯料利用普通车床粗车成筒形工件；二、数控车削，由数控车床按收集镜面型车削筒形工件。本发明用于EUV光源中光学收集镜直接车削加工粗加工。 | ||
交易流程
转让材料
| 买卖双方需提供 | 平台提供 | 转让后买方可获得 | ||
|---|---|---|---|---|
| 企业 | 个人 | 专利代理委托书 专利权转让协议 办理文件副本请求书 发明人变更声明 | 专利证书 手续合格通知书 专利登记簿副本 | |
| 买方 | 企业营业执照 企业组织机构代码证 | 身份证 | ||
| 卖方 | 企业营业执照 专利证书原件 | 身份证 专利证书原件 | ||
服务保障
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