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Xe介质毛细管放电检测用极紫外光源的放电室
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发明专利
专利类型 -
未知
专利状态 -
2015100849376
专利号
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专利信息
数据仅供参考，具体信息可联系在线顾问
| 专利号 | 2015100849376 | 专利名称 | Xe介质毛细管放电检测用极紫外光源的放电室 |
|---|---|---|---|
| 专利类型 | 发明专利 | 国际分类 | H05G2/00 |
| 申请人 | 哈尔滨工业大学 | 申请地址 | 黑龙江省哈尔滨市南岗区西大直街92号 |
| 发明人 | 王骐 | 申请日期 | 2015-02-16 |
| 下证状态 | 未知 | 更新时间 | 2025-01-11 09:20:43 |
| 专利摘要 | Xe介质毛细管放电检测用极紫外光源的放电室，涉及极紫外(EUV)光源技术。它为了解决常规的放电室结构放电性能和冷却性能不够好的问题。本发明中的主脉冲电源的高压极与预脉冲电源的地极共用一个电极，位于外壳的右端面上，预脉冲高压电极和共用电极均设置在外壳内部，且预脉冲高压电极和共用电极的位置沿轴向可调，使得预脉冲高压电极与主脉冲地电极的距离及共用电极与主脉冲地电极的距离均可调，提高了主脉冲电源和预脉冲电源的放电性能。预脉冲高压电极和共用电极内部设置有水冷系统。本发明具有良好的绝缘性能、放电性能、冷却性能和真空性能，适用于Xe介质毛细管放电检测用极紫外光源。 | ||
交易流程
转让材料
| 买卖双方需提供 | 平台提供 | 转让后买方可获得 | ||
|---|---|---|---|---|
| 企业 | 个人 | 专利代理委托书 专利权转让协议 办理文件副本请求书 发明人变更声明 | 专利证书 手续合格通知书 专利登记簿副本 | |
| 买方 | 企业营业执照 企业组织机构代码证 | 身份证 | ||
| 卖方 | 企业营业执照 专利证书原件 | 身份证 专利证书原件 | ||
服务保障
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