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热氧化Zn3N2：III族元素制备p-型氧化锌的方法
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发明专利
专利类型 -
未知
专利状态 -
2015106584631
专利号
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专利信息
数据仅供参考，具体信息可联系在线顾问
| 专利号 | 2015106584631 | 专利名称 | 热氧化Zn3N2：III族元素制备p-型氧化锌的方法 |
|---|---|---|---|
| 专利类型 | 发明专利 | 国际分类 | C23C14/35,C23C14/06,C23C14/58 |
| 申请人 | 哈尔滨工业大学 | 申请地址 | 黑龙江省哈尔滨市南岗区西大直街92号 |
| 发明人 | 李丽 | 申请日期 | 2015-10-12 |
| 下证状态 | 未知 | 更新时间 | 2025-01-11 09:19:53 |
| 专利摘要 | 热氧化Zn3N2：III族元素制备p‑型氧化锌的方法，涉及一种制备p‑型氧化锌的方法。本发明是为了解决现有的p‑型氧化锌掺杂时存在自补偿效应、受主的固溶率低、受主在氧化锌中不稳定的技术问题。本发明：一、清洗衬底；二、磁控溅射沉积制备Zn3N2：III族元素薄膜：三、热氧化Zn3N2：III族元素薄膜。本发明通过氧化Zn3N2：III族元素的方法得到了p‑型氧化锌，并且在800℃下退火仍然保持p‑型，甚至在900℃高温下，氧化锌的导电特性仍为p‑型导电，提高了p‑型氧化锌的热稳定性。 | ||
交易流程
转让材料
| 买卖双方需提供 | 平台提供 | 转让后买方可获得 | ||
|---|---|---|---|---|
| 企业 | 个人 | 专利代理委托书 专利权转让协议 办理文件副本请求书 发明人变更声明 | 专利证书 手续合格通知书 专利登记簿副本 | |
| 买方 | 企业营业执照 企业组织机构代码证 | 身份证 | ||
| 卖方 | 企业营业执照 专利证书原件 | 身份证 专利证书原件 | ||
服务保障
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