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一种用于毛细管放电EUV光源的负载系统
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发明专利
专利类型 -
未知
专利状态 -
2016103780199
专利号
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专利信息
数据仅供参考，具体信息可联系在线顾问
| 专利号 | 2016103780199 | 专利名称 | 一种用于毛细管放电EUV光源的负载系统 |
|---|---|---|---|
| 专利类型 | 发明专利 | 国际分类 | G03F7/20,H05G2/00 |
| 申请人 | 哈尔滨工业大学 | 申请地址 | 黑龙江省哈尔滨市南岗区西大直街92号 |
| 发明人 | 徐强 | 申请日期 | 2016-05-31 |
| 下证状态 | 未知 | 更新时间 | 2025-01-11 09:18:56 |
| 专利摘要 | 一种用于毛细管放电EUV光源的负载系统，涉及EUV光源负载设计领域。本发明是为了解决常规DPPEUV光源的电源设计时，负载特性难以模拟，电源设计参数难以确认的问题。本发明所述的左侧部分：预脉冲高压电极位于最中心，左侧绝缘套套在预脉冲高压电极的外侧，主脉冲高压电极套在左侧绝缘套的外侧，三者孔对应，通过孔固定连接；右侧部分：右侧绝缘套套在地电极的外侧，两者孔对应，且通过孔固定连接，毛细管夹在主脉冲地电极和预脉冲高压电极的之间。它用于模拟真实负载的电极结构。 | ||
交易流程
转让材料
| 买卖双方需提供 | 平台提供 | 转让后买方可获得 | ||
|---|---|---|---|---|
| 企业 | 个人 | 专利代理委托书 专利权转让协议 办理文件副本请求书 发明人变更声明 | 专利证书 手续合格通知书 专利登记簿副本 | |
| 买方 | 企业营业执照 企业组织机构代码证 | 身份证 | ||
| 卖方 | 企业营业执照 专利证书原件 | 身份证 专利证书原件 | ||
服务保障
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