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一种用于毛细管极紫外光刻光源的放电电极
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发明专利
专利类型 -
未知
专利状态 -
2016103788627
专利号
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专利信息
数据仅供参考，具体信息可联系在线顾问
| 专利号 | 2016103788627 | 专利名称 | 一种用于毛细管极紫外光刻光源的放电电极 |
|---|---|---|---|
| 专利类型 | 发明专利 | 国际分类 | G03F7/20,H01J61/06 |
| 申请人 | 申请地址 | 黑龙江省哈尔滨市南岗区西大直街92号 | |
| 发明人 | 申请日期 | 2016-05-31 | |
| 下证状态 | 未知 | 更新时间 | 2025-01-11 09:18:55 |
| 专利摘要 | 一种用于毛细管极紫外光刻光源的放电电极，属于极紫外光刻光源技术领域。它解决了在采用毛细管放电Z箍缩方法产生极紫外光的过程中，通过更换不同长度的毛细管的方式，难以满足等离子体长度微调的要求，操作难度大的问题。本发明所述的一种用于毛细管极紫外光刻光源的放电电极，包括放电电极、主放电电极、锁紧螺母、压圈和接线端子，预放电电极为圆筒形结构，主放电电极的一端为圆锥体，中部为一号圆柱体，另一端为二号圆柱体，接线端子通过压圈固定设置在位于二号圆柱体的一个底面上的凹孔中，二号圆柱体的一个底面为其一端的端面，其另一端设置在圆筒形结构内，两者螺纹连接，并通过锁紧螺母固定。本发明适用于毛细管极紫外光刻光源。 | ||
交易流程
转让材料
| 买卖双方需提供 | 平台提供 | 转让后买方可获得 | ||
|---|---|---|---|---|
| 企业 | 个人 | 专利代理委托书 专利权转让协议 办理文件副本请求书 发明人变更声明 | 专利证书 手续合格通知书 专利登记簿副本 | |
| 买方 | 企业营业执照 企业组织机构代码证 | 身份证 | ||
| 卖方 | 企业营业执照 专利证书原件 | 身份证 专利证书原件 | ||
服务保障
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