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极紫外光光刻光源收集镜片集成用的基座
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发明专利
专利类型 -
未知
专利状态 -
2016104379552
专利号
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专利信息
数据仅供参考，具体信息可联系在线顾问
| 专利号 | 2016104379552 | 专利名称 | 极紫外光光刻光源收集镜片集成用的基座 |
|---|---|---|---|
| 专利类型 | 发明专利 | 国际分类 | G03F7/20 |
| 申请人 | 黑龙江省工研院资产经营管理有限公司 | 申请地址 | 黑龙江省哈尔滨市高新技术产业开发区科技创新城创新创业广场9号楼中源大道14955号1单元412室 |
| 发明人 | 祝东远 | 申请日期 | 2016-06-17 |
| 下证状态 | 未知 | 更新时间 | 2025-01-11 09:18:51 |
| 专利摘要 | 极紫外光光刻光源收集镜片集成用的基座，涉及收集镜片的集成技术领域。为了满足将多层收集镜片集成为收集镜系统的需求。轮缘为不锈钢圆环，圆环的环形内设有6根辐条；每根辐条上均开有N个凹槽，6根辐条的凹槽组成N组与所述圆环同心的圆形，N为正整数，一组凹槽用于安装一层收集镜片，采用真空胶将收集镜片固定在凹槽中；不锈钢圆环的外径Φ为600mm，宽度为40mm、厚度为40mm。本发明的装置结构简单，能牢固固定收集镜片。本发明适用于集成收集镜片。 | ||
交易流程
转让材料
| 买卖双方需提供 | 平台提供 | 转让后买方可获得 | ||
|---|---|---|---|---|
| 企业 | 个人 | 专利代理委托书 专利权转让协议 办理文件副本请求书 发明人变更声明 | 专利证书 手续合格通知书 专利登记簿副本 | |
| 买方 | 企业营业执照 企业组织机构代码证 | 身份证 | ||
| 卖方 | 企业营业执照 专利证书原件 | 身份证 专利证书原件 | ||
服务保障
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