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毛细管放电Z箍缩极紫外光光刻光源的收集系统
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发明专利
专利类型 -
未知
专利状态 -
2016104442310
专利号
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专利信息
数据仅供参考，具体信息可联系在线顾问
| 专利号 | 2016104442310 | 专利名称 | 毛细管放电Z箍缩极紫外光光刻光源的收集系统 |
|---|---|---|---|
| 专利类型 | 发明专利 | 国际分类 | G03F7/20 |
| 申请人 | 黑龙江省工研院资产经营管理有限公司 | 申请地址 | 黑龙江省哈尔滨市高新技术产业开发区科技创新城创新创业广场9号楼中源大道14955号1单元412室 |
| 发明人 | 祝东远 | 申请日期 | 2016-06-20 |
| 下证状态 | 未知 | 更新时间 | 2025-01-11 09:18:50 |
| 专利摘要 | 毛细管放电Z箍缩极紫外光光刻光源的收集系统，涉及毛细管放电Z箍缩13.5nm极紫外光光刻光源，为了解决多层椭球面反射镜构成的收集系统的远场均匀性不好、反射率低的问题。采用WolterI型收集系统实现，包括N层圆桶状反射镜，反射镜依次共轴嵌套，每层反射镜由回转椭球面和回转双曲面连接而成，回转椭球面和回转双曲面具有一个公共的几何焦点，各层反射镜的几何焦点重合；反射镜的回转椭球面的内表面上由中心轴所在平面截取的曲线满足方程：<img file="DDA0001022937460000011.GIF" wi="444" he="142" />回转双曲面的内表面上由中心轴所在平面截取的曲线满足方程：<img file="DDA0001022937460000012.GIF" wi="434" he="151" />本发明的远场均匀性和反射率都得到改善，适用于收集极紫外光。 | ||
交易流程
转让材料
| 买卖双方需提供 | 平台提供 | 转让后买方可获得 | ||
|---|---|---|---|---|
| 企业 | 个人 | 专利代理委托书 专利权转让协议 办理文件副本请求书 发明人变更声明 | 专利证书 手续合格通知书 专利登记簿副本 | |
| 买方 | 企业营业执照 企业组织机构代码证 | 身份证 | ||
| 卖方 | 企业营业执照 专利证书原件 | 身份证 专利证书原件 | ||
服务保障
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