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一种用于柱状偏振光的生成与聚焦的微球透镜

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专利号 2020113980821 专利名称 一种用于柱状偏振光的生成与聚焦的微球透镜
专利类型 发明专利 国际分类 G02B5/18(2006.01),G02B5/30(2006.01),G02B3/00(2006.01)
申请人 申请地址 710071陕西省西安市雁塔区太白南路2号
发明人 申请日期 2020-12-04
下证状态 未知 更新时间 2025-01-11 09:08:54
专利摘要 本发明公开了一种用于柱状偏振光的生成与聚焦的微球透镜,所述微球透镜的表面刻有准周期性的亚波长光栅结构;其中,亚波长光栅结构处于入射光照射的半球表面,但不覆盖中心区域;光栅结构的周期小于入射光波长;光栅为曲线,且光栅槽宽逐渐变化;光栅的光栅矢量由球面位置来确定,即光栅矢量与光栅在球面上的方位以及光栅与中心点的距离有关;光栅的刻蚀深度为百纳米量级。本发明微球透镜除具有光学聚焦功能外,还能够生成任意角度的柱状偏振光,实现中空的聚焦光斑,即光束中心强度为零;可广泛应用于光镊、光刻、光学微加工和光学超分辨等技术领域,结合现有的光学显微镜系统,可实现对微纳粒子的三维自由操作。

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