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一种可真空/气体改性处理的自动刮膜设备及其操作方法

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专利号 202010751669X 专利名称 一种可真空/气体改性处理的自动刮膜设备及其操作方法
专利类型 发明专利 国际分类 B05C9/14(20060101),B05C11/04(20060101),B05C11/10(20060101),B05D1/40(20060101),B05D3/02(20060101),B05D3/04(20060101)
申请人 暨南大学 申请地址 广东省广州市天河区黄埔大道西601号
发明人 侯林涛 申请日期 2020-07-30
下证状态 未知 更新时间 2025-01-11 09:00:12
专利摘要 本发明公开一种可真空/气体改性处理的自动刮膜设备及其控制方法,所述自动刮膜设备包括刮膜单元、真空低压/特殊气体改性处理单元、固定成膜单元、控制单元、传动单元和温度控制单元。本发明将真空/特殊气体改性处理与刮膜技术相结合,通过优化刮膜速度、成膜温度、薄膜改性和舱内压强等,实现单一溶液或共混溶液刮涂成膜形貌、厚度及物化性质等有效调控,进而形成最优薄膜质量,实现多种类型器件性能大幅度提升,显著提高其光电性能。本设备自动化操作可保持刮涂成膜的可重复性,可广泛应用于各种不同类型有机/无机半导体光电子器件大面积制备领域。

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卖方 企业营业执照
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身份证
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