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一种褪除金属工件表面碳膜的方法

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专利号 2022103561483 专利名称 一种褪除金属工件表面碳膜的方法
专利类型 发明专利 国际分类 C23G 5/00 (2006.01)
申请人 岭南师范学院 申请地址 广东省湛江市赤坎区寸金路29号
发明人 申请日期 2022-04-06
下证状态 未知 更新时间 2025-01-11 08:58:41
专利摘要 本发明属于金属材料表面处理技术领域,具体涉及一种褪除金属工件表面碳膜的方法。本发明采用高频电场离化惰性气体,获得混合惰性气体的等离子体,使金属件完全浸没在等离子体中,通过高能粒子溅射与活性离子蚀刻的复合作用去除金属件表面碳膜,是一种物理化学复合作用的过程。该方法可以有效去除金属件表面的碳膜,对金属件无损伤,不影响金属件的公差尺寸,同时采用的惰性气体对环境没有任何污染,适合大规模使用。

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