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一种基于In合金的贵金属纳米颗粒及其制备方法

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专利号 2017112862351 专利名称 一种基于In合金的贵金属纳米颗粒及其制备方法
专利类型 发明专利 国际分类 C23C14/14,C23C14/58
申请人 青岛大学 申请地址 山东省青岛市崂山区香港东路7号青岛大学
发明人 毛遂 申请日期 2017-12-07
下证状态 已下证 更新时间 2025-03-05 08:00:54
专利摘要 本发明公开了一种基于In合金的贵金属纳米颗粒及其制备方法,该制备方法的特征是在贵金属纳米颗粒的制备中使用了In合金共熔固态结晶的生长方式和热升华解元In组分的两步加工工艺,本发明旨在利用In的低熔点和低表面扩散活化能,降低贵金属纳米颗粒的制备温度,拓宽基于物理气相淀积的贵金属纳米颗粒的应用范围。该方法的优点在于,能够将贵金属纳米颗粒的制备温度降低50~300℃,并通过控制In在合金中的比例,调节贵金属纳米颗粒的大小和密度,简单高效,能够集成于半导体器件的加工工艺之中。

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