发明专利
专利类型已下证
专利状态2017112862351
专利号专利号 | 2017112862351 | 专利名称 | 一种基于In合金的贵金属纳米颗粒及其制备方法 |
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专利类型 | 发明专利 | 国际分类 | C23C14/14,C23C14/58 |
申请人 | 青岛大学 | 申请地址 | 山东省青岛市崂山区香港东路7号青岛大学 |
发明人 | 毛遂 | 申请日期 | 2017-12-07 |
下证状态 | 已下证 | 更新时间 | 2025-03-05 08:00:54 |
专利摘要 | 本发明公开了一种基于In合金的贵金属纳米颗粒及其制备方法,该制备方法的特征是在贵金属纳米颗粒的制备中使用了In合金共熔固态结晶的生长方式和热升华解元In组分的两步加工工艺,本发明旨在利用In的低熔点和低表面扩散活化能,降低贵金属纳米颗粒的制备温度,拓宽基于物理气相淀积的贵金属纳米颗粒的应用范围。该方法的优点在于,能够将贵金属纳米颗粒的制备温度降低50~300℃,并通过控制In在合金中的比例,调节贵金属纳米颗粒的大小和密度,简单高效,能够集成于半导体器件的加工工艺之中。 |
买卖双方需提供 | 平台提供 | 转让后买方可获得 | ||
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企业 | 个人 | 专利代理委托书 专利权转让协议 办理文件副本请求书 发明人变更声明 | 专利证书 手续合格通知书 专利登记簿副本 | |
买方 | 企业营业执照 企业组织机构代码证 | 身份证 | ||
卖方 | 企业营业执照 专利证书原件 | 身份证 专利证书原件 |
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