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一种在线可调灵敏度式柔性感存一体化系统及其集成方法

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专利号 2021113953301 专利名称 一种在线可调灵敏度式柔性感存一体化系统及其集成方法
专利类型 发明专利 国际分类 G01L1/16(2006.01),G01L9/08(2006.01),H10B53/00(2023.01)
申请人 申请地址 100193 北京市海淀区圆明园西路2号
发明人 申请日期 2021-11-23
下证状态 未知 更新时间 2025-01-11 08:18:38
专利摘要 本发明涉及一种在线可调灵敏度式柔性感存一体化系统及其集成方法,系统的上电极的下表面与铁电感知薄膜的上表面贴合连接;铁电感知薄膜的下表面与铁电介电薄膜的上表面通过中电极进行键合;铁电介电薄膜的下表面与界面缓冲层连接;柔性基底的表面与下电极贴合连接;可通过外围调节电路对铁电感知薄膜施加一定的电压,进而调整系统灵敏度;铁电介电薄膜用于根据铁电感知薄膜产生的感知信号产生铁电极化,实现感知信号的非易失性存储。本发明实现了在线实时调控系统的灵敏度以适应不同的应用场景、减少信号干扰和失真,且数据无须通过系统总线在感知单元和存储单元不断传输交互,提高了系统的信号存储带宽并降低了系统功耗。

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