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一种气泡定点生长的热气泡驱动微泵及制备方法

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  • 2020103018676

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专利号 2020103018676 专利名称 一种气泡定点生长的热气泡驱动微泵及制备方法
专利类型 发明专利 国际分类 F04B19/00(2006.01),H05B6/10(2006.01),H05B6/36(2006.01),H05B6/02(2006.01),F25B21/02(2006.01),F24H9/18(2006.01),F24H9/20(2006.01)
申请人 北京工业大学 申请地址 100124 北京市朝阳区平乐园100号
发明人 刘本东 申请日期 2020-04-16
下证状态 未知 更新时间 2025-01-11 08:11:08
专利摘要 一种气泡定点生长的热气泡驱动微泵及制备方法,属于微流控技术领域。本发明是一种用于微流体输送的热气泡驱动微泵,具体为采用MEMS微加工技术制作的一种利用高频电流无线感应加热的热汽泡驱动微泵,在微泵内设有微加热盘,微加热盘上设计按一定规则形状排列的凹穴,使凹穴调整热汽泡的生长位置,通过控制热气泡周期性的膨胀和收缩,结合泵腔两侧微流道的阻力不同,最终微泵实现定向泵送。为了提高微泵的可靠性和工作频率,对微泵添加冷却装置,加强微泵在热汽泡收缩阶段的散热能力。本发明提出的微泵可广泛应用于航空航天、生物医学、化学等领域。

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转让材料

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身份证
卖方 企业营业执照
专利证书原件
身份证
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