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专利号	2021115115629	专利名称	用于提升衍射性光波导曝光电子束场强的电路
专利类型	发明专利	国际分类	H02M3/337(2006.01),H02M1/088(2006.01),H02M1/44(2007.01)
申请人		申请地址	610225 四川省成都市双流区西南航空港经济开发区学府路一段24号
发明人		申请日期	2021-12-06
下证状态	未知	更新时间	2025-01-11 07:58:32
专利摘要	本发明涉及光波导技术领域，公开了用于提升衍射性光波导曝光电子束场强的电路，包括依次电相连的低压变换模块、高压并联模块，所述低压变换模块的输入端为连接低压信号的引脚，所述低压变换模块的输出端为输出N路中压信号的引脚，所述高压并联模块包括N个相互并联的高压子模块，所述高压子模块的输出端为输出10KV～25KV高压信号的引脚，相邻的高压子模块之间连接有延时模块；其中，低压信号的电压为18V～36V，中压信号的电压为390V～410V，N为整数且N≥2。本发明解决了现有技术存在的提升场强效果不佳、曝光效果不佳等问题。

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