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一种凹形光阻涂布的制作过程
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发明专利
专利类型 -
未知
专利状态 -
2018109038322
专利号
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专利信息
数据仅供参考，具体信息可联系在线顾问
| 专利号 | 2018109038322 | 专利名称 | 一种凹形光阻涂布的制作过程 |
|---|---|---|---|
| 专利类型 | 发明专利 | 国际分类 | B05D1/00,B05D1/02,B05D3/00,B05D3/04,B05D7/00,B05D5/00 |
| 申请人 | 锐捷光电科技（江苏）有限公司 | 申请地址 | 江苏省苏州市张家港经济技术开发区国泰北路15-28号1C幢 |
| 发明人 | 洪文庆 | 申请日期 | 2018-08-09 |
| 下证状态 | 未知 | 更新时间 | 2025-01-11 07:27:50 |
| 专利摘要 | 本发明公开了一种凹形光阻涂布的制作过程,包括如下步骤：步骤1：先将蓝宝石芯片放置在电浆清洗机腔体内部，利用氧电浆去除表面有机物质与改变电荷分布状态；步骤2：在进行光阻涂布之前，将附着剂喷涂至蓝宝石芯片表面；增加蓝宝石芯片对光阻附着力，对附着剂进行二次涂布喷涂达到稳定膜厚分布的效果；涂布完附着剂并旋转蓝宝石芯片；步骤3：进行第一次喷涂光阻；光阻喷头置于蓝宝石芯片中心进行喷涂；步骤5：光阻喷头移至距蓝宝石芯片中心点250mm处，进行第二次光阻喷涂；步骤6：将旋转转速提升至2000～3000rpm用喷枪蓝宝石芯片去除多余光阻，冲洗蓝宝石芯片背面去除多余光阻；本发明制作的蓝宝石芯片上光阻为中间薄外围厚的分布状态。 | ||
交易流程
转让材料
| 买卖双方需提供 | 平台提供 | 转让后买方可获得 | ||
|---|---|---|---|---|
| 企业 | 个人 | 专利代理委托书 专利权转让协议 办理文件副本请求书 发明人变更声明 | 专利证书 手续合格通知书 专利登记簿副本 | |
| 买方 | 企业营业执照 企业组织机构代码证 | 身份证 | ||
| 卖方 | 企业营业执照 专利证书原件 | 身份证 专利证书原件 | ||
服务保障
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