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专利号	2017102211053	专利名称	一种实现非对称传输的单层金纳米结构及其制备方法
专利类型	发明专利	国际分类	G02B5/30(2006.01),G03F7/00(2006.01)
申请人	陕西师范大学	申请地址	710119陕西省西安市长安区西长安街620号陕西师范大学长安校区
发明人	张中月	申请日期	2017-04-06
下证状态	未知	更新时间	2025-01-10 08:33:00
专利摘要	本发明实现非对称传输的单层金纳米结构及其制备方法，该结构通过准备基底、涂光刻胶、涂胶后烘干、电子束曝光结构图形、显影、定影、定影后烘干、镀金、剥离光刻胶、吹干十个步骤制备；本发明的结构简单，其结构的连通性可以增强光和金属微纳结构的耦合，实现光的非对称透射特性；且通过将该结构的第一竖体与第三竖体的长度设置不相等，会比第一竖体与第三竖体长度相等时多出两个共振模式，可以实现多个频段的调控；并且产生两个相对较大的非对称传输效应；另外，本发明的制备方法曝光结构图形过程中，电子束是对结构的图形部分进行刻蚀，节省了结构图形的曝光时间，提高了制备效率。

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