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一种硅基太阳能电池及其单晶硅片钝化方法
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发明专利
专利类型 -
未知
专利状态 -
2015105366076
专利号
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专利信息
数据仅供参考，具体信息可联系在线顾问
| 专利号 | 2015105366076 | 专利名称 | 一种硅基太阳能电池及其单晶硅片钝化方法 |
|---|---|---|---|
| 专利类型 | 发明专利 | 国际分类 | H01L31/18(2006.01),H01L31/0216(2014.01) |
| 申请人 | 陕西师范大学 | 申请地址 | 710119陕西省西安市长安区西长安街620号 |
| 发明人 | 刘生忠 | 申请日期 | 2015-08-27 |
| 下证状态 | 未知 | 更新时间 | 2025-01-10 08:31:36 |
| 专利摘要 | 本发明提供一种硅基太阳能电池及其单晶硅片钝化方法，包括如下步骤，1)单晶硅片的清洗：对单晶硅进行清洗去除其表面的氧化层和金属离子以及有机物；2)单晶硅片脱水：将清洗干净的单晶硅片进行干燥脱水；3)氢化非晶硅锗的沉积：将干燥的单晶硅片放入等离子增强化学气相沉积系统中预热，在180℃‑220℃的沉积温度和10W‑20W的等离子体激发功率下，在硅烷、锗烷和氢气气氛中对单晶硅片双面进行氢化非晶硅锗的沉积后，完成对单晶硅片的钝化。本发明所述的钝化方法，在180℃‑220℃的环境中可以实现整个钝化过程，降低了热损伤。整个钝化过程中等离子激发功率10W‑20W，降低了等离子体的损伤。少子寿命高，钝化效果好。 | ||
交易流程
转让材料
| 买卖双方需提供 | 平台提供 | 转让后买方可获得 | ||
|---|---|---|---|---|
| 企业 | 个人 |
专利代理委托书 专利权转让协议 办理文件副本请求书 发明人变更声明 |
专利证书 手续合格通知书 专利登记簿副本 |
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| 买方 |
企业营业执照 企业组织机构代码证 |
身份证 | ||
| 卖方 |
企业营业执照 专利证书原件 |
身份证 专利证书原件 |
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服务保障
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