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一种利用电磁加热优化透明导电氧化物薄膜质量的方法

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专利号 2014100355526 专利名称 一种利用电磁加热优化透明导电氧化物薄膜质量的方法
专利类型 发明专利 国际分类 H01B5/14,H01B13/00
申请人 陕西师范大学 申请地址 陕西省西安市长安区长安街620号
发明人 刘生忠 申请日期 2014-01-25
下证状态 未知 更新时间 2025-01-10 08:31:00
专利摘要 本发明公开了一种利用电磁加热优化透明导电氧化物薄膜质量的方法:首先在柔性材料衬底上制备TCO薄膜;将制备的TCO薄膜置于电磁场中对其加热处理,使其导电、透光性能得到提升,得到优化的透明导电氧化物薄膜。本发明的方法不但解决了在低温下制备柔性材料上的TCO这一难题,并且还可以对现有一般制备在玻璃上的TCO薄膜进行快速热处理,从而得到性能更加优异的TCO薄膜。可以广泛应用于柔性显示领域及光伏领域。

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