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一种硅基凸面反射镜的制备方法
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发明专利
专利类型 -
未知
专利状态 -
2018109364872
专利号
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专利信息
数据仅供参考，具体信息可联系在线顾问
| 专利号 | 2018109364872 | 专利名称 | 一种硅基凸面反射镜的制备方法 |
|---|---|---|---|
| 专利类型 | 发明专利 | 国际分类 | B81C1/00(2006.01)I |
| 申请人 | 湖南文理学院 | 申请地址 | 湖南省常德市武陵区洞庭大道3150号 |
| 发明人 | 龙永福 | 申请日期 | 2018-08-16 |
| 下证状态 | 未知 | 更新时间 | 2025-01-10 07:57:15 |
| 专利摘要 | 本发明公开了一种硅基凸面反射镜的制备方法，该方法是将常规作为电极的薄铂片做成空心球体并把从空心球体上截得的一个球冠做成阴极，圆形硅片为阳极，球冠形薄铂片的凸面背离着硅片；先采用恒流源对硅片进行电化学腐蚀，在硅片靠近球冠形薄铂片的一侧面上形成剖面为凸形的多孔硅膜；再采用化学腐蚀的方法腐蚀掉多孔硅膜，从而形成硅基凸面反射镜。通过本发明的方法，能获得硅基凸面反射镜，能广泛应用于微光机电系统，为微光机电系统领域作出了重大的贡献。 | ||
交易流程
转让材料
| 买卖双方需提供 | 平台提供 | 转让后买方可获得 | ||
|---|---|---|---|---|
| 企业 | 个人 | 专利代理委托书 专利权转让协议 办理文件副本请求书 发明人变更声明 | 专利证书 手续合格通知书 专利登记簿副本 | |
| 买方 | 企业营业执照 企业组织机构代码证 | 身份证 | ||
| 卖方 | 企业营业执照 专利证书原件 | 身份证 专利证书原件 | ||
服务保障
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