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一种纳米多孔硅双凹透镜的制备方法

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专利号 2018109353793 专利名称 一种纳米多孔硅双凹透镜的制备方法
专利类型 发明专利 国际分类 C25F3/30,G02B3/00
申请人 湖南文理学院 申请地址 湖南省常德市武陵区洞庭大道3150号
发明人 龙永福 申请日期 2018-08-16
下证状态 未知 更新时间 2025-01-10 07:57:13
专利摘要 本发明公开了一种纳米多孔硅双凹透镜的制备方法,该方法是将常规作为电极的铂片做成空心球体并把从空心球体上截得的两个相对称的球冠做成电极,在两个球冠电极之间放置硅片,且两个球冠电极的两个凸面均面对硅片,硅片将腐蚀液分隔成两个独立的部分;先采用恒流源对硅片进行电抛光而使硅片前后两面形成同样的凹形球表面;再将两个对称的球冠电极换成平行的板式电极,对硅片两面进行电化学腐蚀而形成多孔双凹透镜。通过本发明的方法,能获得纳米多孔硅双凹透镜,能广泛应用于微光机电系统,为微光机电系统领域作出了重大的贡献。

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