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专利号	2023114471729	专利名称	膜片式法珀干涉与FBG复用的光纤传感器批量制作方法
专利类型	发明专利	国际分类	G01D 5/353 (2006.01),G01D 21/02 (2006.01)
申请人	广东海洋大学	申请地址	广东省湛江市麻章区海大路1号
发明人		申请日期	2023-11-02
下证状态	未知	更新时间	2025-01-10 07:54:44
专利摘要	本发明公开膜片式法珀干涉与FBG复用的光纤传感器批量制作方法，包括以下步骤：S1，加工圆盘，在圆盘一侧周向固定若干支撑柱，在圆盘上开设若干通孔，对圆盘进行装夹定位；S2，在通孔内均插入准直套管，并对准直套管粘接固定；S3，对固定有准直套管的圆盘置超声清洗，之后取出烘干；S4，加工膜片，对膜片其中一个面打磨抛光，抛光后的膜片光胶在支撑柱，且抛光面与准直套管接触，之后对膜片另一个面进行打磨形成磨砂面；S5，设置激光焊接圆形路径的半径，依次将所有的准直套管分别与膜片焊接；S6，在准直套管内壁分别进行固定光纤、光纤上刻写FBG操作；S7，对准直套管进行下盘操作，清洗烘干，完成传感结构的加工。

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