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法珀干涉动态压力传感装置及其制作方法

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专利号 2023100527729 专利名称 法珀干涉动态压力传感装置及其制作方法
专利类型 发明专利 国际分类 G01L11/02(2006.01),G02B6/02(2006.01)
申请人 广东海洋大学 申请地址 524088 广东省湛江市麻章区海大路1号
发明人 王文华 申请日期 2023-02-03
下证状态 未知 更新时间 2025-01-10 07:54:42
专利摘要 本发明涉及法布里‑珀罗干涉光纤传感器技术领域,特别是涉及法珀干涉动态压力传感装置及其制作方法,包括第三柱体,第三柱体内设置有第三准直套管,第三准直套管内同轴设置有传感光纤,传感光纤的顶端穿出第三柱体,第三准直套管的底端开设有凹槽,传感光纤的底端设置为反射镜面且伸入凹槽内,凹槽的底端固接有第三形变反射件,第三形变反射件与传感光纤的底端正对设置,凹槽与第三形变反射件形成光学微腔;第三柱体的一侧设置有稳定机构,稳定机构与光学微腔连通。本发明在检测压力时,当外界环境的静态背景压力发生改变,光学微腔的内外压力差(压强差)不变,确保本发明的工作点稳定,本发明的性能不受影响。

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