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专利号	2021115385064	专利名称	利用E-T型二次电子探测器获得扫描成像固定装置及其方法
专利类型	发明专利	国际分类	H01J 37/244 (2006.01),H01J 37/20 (2006.01)
申请人	南京师范大学	申请地址	江苏省南京市栖霞区文苑路1号
发明人	戴志晖	申请日期	2021-12-15
下证状态	未知	更新时间	2025-01-10 07:36:21
专利摘要	本发明公开了利用E‑T型二次电子探测器获得扫描成像固定装置及其方法，包括第一组件、第二组件、螺丝和铜网样品,所述第二组件上设有一排锁紧孔和一排凹槽；所述第一组件上设有样品放置槽，其中铜网样品放置在每个所述样品放置槽上，其中螺丝穿过对应的锁紧孔将第二组件固定在所述第一组件的顶部。所述方法将铜网透射样品置于凹槽型样品台中，通过凹槽型设计与物镜极靴底部形成相对闭合空间来抑制E‑T型二次电子探测器从样品上表面获得表面信息，从而达到扫描透射成像的目的。本发明所述方法工艺简单、成像效果好、可重复性强，适用于各种扫描电子显微镜。

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