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一种变掺杂变组分的AlGaNGaN中子探测器

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专利号 2017100955980 专利名称 一种变掺杂变组分的AlGaNGaN中子探测器
专利类型 发明专利 国际分类 H01L31/0304,H01L31/118,H01L31/18
申请人 东华理工大学 申请地址 江西省抚州市学府路56号
发明人 汤彬 申请日期 2017-02-22
下证状态 未知 更新时间 2025-01-10 07:33:25
专利摘要 本发明公开一种变掺杂变组分AlGaN/GaN中子探测器,为PIN结构,以自支撑n型GaN作为衬底,在衬底上利用金属有机物化学气相沉积技术顺序生长变掺杂变组分n型AlGaN层、未掺杂GaN层和p型GaN层;在p型GaN和n型衬底上沉积金属并做退火处理形成欧姆接触电极;在p型GaN层上沉积10BC4或6LiF作为中子转换层。AlGaN/GaN变掺杂变组分结构内部具有内建电场,当中子照射到10BC4或6LiF后发生核反应产生α粒子,α粒子电离AlGaN/GaN产生电子空穴对,该电场驱动电子、空穴分别向n型和p型电极两端定向运动,有利于收集效率的提高和漏电流的减小,从而提高了中子探测器的灵敏度以及探测效率。

交易流程

转让材料

买卖双方需提供 平台提供 转让后买方可获得
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专利权转让协议
办理文件副本请求书
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专利证书
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买方 企业营业执照
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卖方 企业营业执照
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身份证
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服务保障

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