欢迎来到中细软旗下技术转移平台

服务热线：400-9696-518

节能环保新能源新材料高端制造生物产业数字创意

免费询价在线咨询

专利号	2024100039414	专利名称	一种光干涉式微集成三轴加速度传感结构及其解算方法
专利类型	发明专利	国际分类	G01P 15/18 (2013.01),G01P 15/03 (2006.01)
申请人	北方工业大学	申请地址	北京市石景山区晋元庄路5号
发明人		申请日期	2024-01-03
下证状态	未知	更新时间	2025-01-10 07:23:16
专利摘要	本发明提供一种光干涉式微集成三轴加速度传感结构及其解算方法，包括自下向上依次布置的三轴加速度同步敏感结构、阵列光栅结构和光电检测阵列结构；三轴加速度同步敏感结构包括固定框架、特异敏感弹性梁、台阶式质量块和反光膜。具有以下优点：(1)该设计以单一敏感结构同时响应并实现3个轴向加速度测量，相对于常规阵列集成3方向加速度传感单元的传感系统进一步提高了集成度。并且，本发明测量结果更为准确。(2)采用光栅干涉式位移测量方法，结合阵列光栅结构和光电检测阵列结构构建检测敏感结构上多位点位移的阵列化传感结构，进一步提高整个三轴加速度传感模块的集成度。

买卖双方需提供			平台提供	转让后买方可获得
	企业	个人	专利代理委托书专利权转让协议办理文件副本请求书发明人变更声明	专利证书手续合格通知书专利登记簿副本
买方	企业营业执照企业组织机构代码证	身份证
卖方	企业营业执照专利证书原件	身份证专利证书原件