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一种沉积尺寸可调的环形金刚石化学气相沉积装置
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发明专利
专利类型 -
已下证
专利状态 -
202310895396X
专利号
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专利信息
数据仅供参考，具体信息可联系在线顾问
| 专利号 | 202310895396X | 专利名称 | 一种沉积尺寸可调的环形金刚石化学气相沉积装置 |
|---|---|---|---|
| 专利类型 | 发明专利 | 国际分类 | C23C 16/27 (2006.01),C23C 16/511 (2006.01) |
| 申请人 | 北方工业大学 | 申请地址 | 北京市石景山区晋元庄路5号 |
| 发明人 | 安康;吴海平;刘峰斌;许光宇 | 申请日期 | 2023-07-20 |
| 下证状态 | 已下证 | 更新时间 | 2026-07-10 15:07:51 |
| 专利摘要 | 在微波等离子体化学气相沉积金刚石领域中，本发明提供一种沉积尺寸可调的环形金刚石化学气相沉积装置，包括微波入口、同轴天线、第一谐振腔、第二谐振腔、第三谐振腔、环形调谐腔、屏蔽台、腔室底、衬底、腔室壁、真空石英环、进气口、排气口、环形等离子体区、调谐腔进水管、调谐腔出水管、屏蔽台出水管、屏蔽台进水管。通过对第一谐振腔、第二谐振腔和第三谐振腔的设计，在装置底部形成强化TM<subgt;02</subgt;模式的电场，然后在第三谐振腔中心设计屏蔽台，屏蔽中心的半球形电场，最终形成环形等离子体区域。当待沉积的环形金刚石的尺寸需要变更时，更换内径尺寸不同的环形调谐腔和直径不同的屏蔽台，环形调谐腔和屏蔽台支持拆卸。 | ||
交易流程
转让材料
| 买卖双方需提供 | 平台提供 | 转让后买方可获得 | ||
|---|---|---|---|---|
| 企业 | 个人 | 专利代理委托书 专利权转让协议 办理文件副本请求书 发明人变更声明 | 专利证书 手续合格通知书 专利登记簿副本 | |
| 买方 | 企业营业执照 企业组织机构代码证 | 身份证 | ||
| 卖方 | 企业营业执照 专利证书原件 | 身份证 专利证书原件 | ||
服务保障
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