欢迎来到中细软旗下技术转移平台

服务热线：400-700-0065

节能环保新能源新材料高端制造生物产业数字创意

免费询价在线咨询

专利号	202310895396X	专利名称	一种沉积尺寸可调的环形金刚石化学气相沉积装置
专利类型	发明专利	国际分类	C23C 16/27 (2006.01),C23C 16/511 (2006.01)
申请人	北方工业大学	申请地址	北京市石景山区晋元庄路5号
发明人		申请日期	2023-07-20
下证状态	未知	更新时间	2025-01-10 07:23:10
专利摘要	在微波等离子体化学气相沉积金刚石领域中，本发明提供一种沉积尺寸可调的环形金刚石化学气相沉积装置，包括微波入口、同轴天线、第一谐振腔、第二谐振腔、第三谐振腔、环形调谐腔、屏蔽台、腔室底、衬底、腔室壁、真空石英环、进气口、排气口、环形等离子体区、调谐腔进水管、调谐腔出水管、屏蔽台出水管、屏蔽台进水管。通过对第一谐振腔、第二谐振腔和第三谐振腔的设计，在装置底部形成强化TM<subgt;02</subgt;模式的电场，然后在第三谐振腔中心设计屏蔽台，屏蔽中心的半球形电场，最终形成环形等离子体区域。当待沉积的环形金刚石的尺寸需要变更时，更换内径尺寸不同的环形调谐腔和直径不同的屏蔽台，环形调谐腔和屏蔽台支持拆卸。

买卖双方需提供			平台提供	转让后买方可获得
	企业	个人	专利代理委托书专利权转让协议办理文件副本请求书发明人变更声明	专利证书手续合格通知书专利登记簿副本
买方	企业营业执照企业组织机构代码证	身份证
卖方	企业营业执照专利证书原件	身份证专利证书原件