欢迎来到中细软旗下技术转移平台

服务热线：400-9696-518

节能环保新能源新材料高端制造生物产业数字创意

免费询价在线咨询

专利号	2023103184716	专利名称	一种光干涉型微加工晶圆表面形貌测量装置及测量方法
专利类型	发明专利	国际分类	G01B 11/24 (2006.01),H01L 21/66 (2006.01)
申请人	北方工业大学	申请地址	北京市石景山区晋元庄路5号
发明人		申请日期	2023-03-28
下证状态	未知	更新时间	2025-01-10 07:23:05
专利摘要	本发明公开的光干涉型微加工晶圆表面形貌测量装置及测量方法，涉及表面微形貌测量技术领域。本发明提供的装置包括：底座、竖直支架、Z轴粗调移动导轨、水平支架、测量模块、二维移动台、Z轴细调移动台和晶圆样品台；竖直支架一端固定在底座上，另一端上固定设置有Z轴粗调移动导轨；水平支架的一端设置在Z轴粗调移动导轨上，另一端上设置有测量模块；二维移动台设置在底座上；Z轴细调移动台设置在二维移动台上；晶圆样品台设置在Z轴细调移动台上；二维移动台用于调节Z轴细调移动台的位置。本发明基于上述装置结构，能够在提高表面微形貌测量的高精度和稳定性同时，满足大量程的测量，进而能够匹配微加工晶圆表面形貌测量的具体应用需求。

买卖双方需提供			平台提供	转让后买方可获得
	企业	个人	专利代理委托书专利权转让协议办理文件副本请求书发明人变更声明	专利证书手续合格通知书专利登记簿副本
买方	企业营业执照企业组织机构代码证	身份证
卖方	企业营业执照专利证书原件	身份证专利证书原件