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专利号	2023101329392	专利名称	一种高调谐灵敏度的915MHz微波等离子体化学气相沉积装置
专利类型	发明专利	国际分类	C23C 16/511 (2006.01),C23C 16/27 (2006.01),C23C 16/26 (2006.01)
申请人	北方工业大学	申请地址	北京市石景山区晋元庄路5号
发明人		申请日期	2023-02-17
下证状态	未知	更新时间	2025-01-10 07:23:04
专利摘要	本发明提供一种高调谐灵敏度的915MHz微波等离子体化学气相沉积装置，包括：腔室上壁和腔室下壁，腔室下壁安装反应腔体；腔室上壁和腔室下壁之间设置金属腔壁，金属腔壁环绕布置于反应腔体外围，构成谐振腔；金属腔壁被配置为：环绕反应腔体收缩或扩张。本发明设置环绕反应腔体收缩或扩张的金属腔壁，通过调整金属腔壁围成的圆柱腔的直径变化，调整谐振腔的内部空间，使反应腔体等离子体形状和电子密度快速实现最优状态，反射降到最低，提高沉积效率。

买卖双方需提供			平台提供	转让后买方可获得
	企业	个人	专利代理委托书专利权转让协议办理文件副本请求书发明人变更声明	专利证书手续合格通知书专利登记簿副本
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