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一种光干涉型集成微位移传感结构及其检测方法
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发明专利
专利类型 -
未知
专利状态 -
2021112998447
专利号
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专利信息
数据仅供参考，具体信息可联系在线顾问
| 专利号 | 2021112998447 | 专利名称 | 一种光干涉型集成微位移传感结构及其检测方法 |
|---|---|---|---|
| 专利类型 | 发明专利 | 国际分类 | G01B11/02(2006.01),G01D5/26(2006.01) |
| 申请人 | 北方工业大学 | 申请地址 | 100144 北京市石景山区晋元庄路5号北方工业大学 |
| 发明人 | 张萌颖 | 申请日期 | 2021-11-04 |
| 下证状态 | 未知 | 更新时间 | 2025-01-10 07:22:29 |
| 专利摘要 | 本发明公开了一种光干涉型集成微位移传感结构及其检测方法，针对静态及动态微位移量及其派生物理量的检测。通过光栅耦合将高精度光干涉检测方法引入高度集成的传感结构中。利用集成的可驱动光栅根据需要灵活精确地对输出干涉光信号附加相位调制，同时又配置集成应变传感单元检测实际的附加相位调制用于校正。检测方法中通过控制光栅位移给输出干涉光信号精确附加所需相位调制，采用解决光干涉型传感技术静态工作点问题的传感信号解调方法，相比于现有光栅干涉型传感器通常采用的近似线性解调方法，提高了微位移检测的稳定性与准确性。本发明实现了集成化微位移检测及其光干涉信号的高性能解调，尤其适用于工作条件复杂的高精度便携式检测设备。 | ||
交易流程
转让材料
| 买卖双方需提供 | 平台提供 | 转让后买方可获得 | ||
|---|---|---|---|---|
| 企业 | 个人 | 专利代理委托书 专利权转让协议 办理文件副本请求书 发明人变更声明 | 专利证书 手续合格通知书 专利登记簿副本 | |
| 买方 | 企业营业执照 企业组织机构代码证 | 身份证 | ||
| 卖方 | 企业营业执照 专利证书原件 | 身份证 专利证书原件 | ||
服务保障
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