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一种能够提高钛合金抗高温氧化性能的TiAl涂层及其制备方法

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专利号 2021109416243 专利名称 一种能够提高钛合金抗高温氧化性能的TiAl涂层及其制备方法
专利类型 发明专利 国际分类 C23C14/16(2006.01),C23C14/35(2006.01),C23C14/58(2006.01),C23C14/02(2006.01)
申请人 申请地址 100144 北京市石景山区晋元庄路5号
发明人 申请日期 2021-08-17
下证状态 未知 更新时间 2025-01-10 07:22:27
专利摘要 本发明公开了一种能够提高钛合金抗高温氧化性能的TiAl涂层及其制备方法,所述TiAl涂层中包括α‑AlF3纳米颗粒,α‑AlF3纳米颗粒含量为TiAl涂层的5~30vol.%。所述TiAl涂层的制备方法为以TiAl合金靶材和α‑AlF3靶材为原料,在基材表面进行磁控溅射沉积制备涂层;所述磁控溅射为双靶共溅射,溅射时的基材温度为150℃,其中TiAl合金靶材采用直流溅射,功率为0.5~2kW,α‑AlF3靶材采用射频溅射,功率为0.07~0.2kW。双靶共溅射得到涂层后再将所得涂层在600~800℃的温度下热处理5~20h,得到最终的涂层。

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