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专利号	2021107625032	专利名称	一种主动式MEMS固态制冷器件及其制造方法
专利类型	发明专利	国际分类	B81B7/02(2006.01),B81C1/00(2006.01)
申请人		申请地址	100144北京市石景山区晋元庄路5号北方工业大学
发明人	赵全亮	申请日期	2021-07-06
下证状态	未知	更新时间	2025-01-10 07:22:26
专利摘要	本发明涉及一种主动式MEMS固态制冷器件及其制备方法，该固态制冷器件包括自上至下依次排布的顶部散热层、悬臂梁结构和底部吸热层；其中，悬臂梁结构包括自下而上依次排布的基片层、下电极薄膜层、反铁电薄膜层和上电极薄膜层。本发明可微型化并与半导体芯片制造技术兼容，能够实现局域位置指定、按需分配的芯片级高效制冷散热方法，有效解决限制半导体芯片工作性能的热管理瓶颈问题，其结合悬臂梁结构和反铁电材料，能够同时利用反铁电薄膜的电卡和电致应变效应，大大简化制冷器件的结构设计并提高性能，同时可实现微型化制造并与半导体芯片集成技术兼容。

买卖双方需提供			平台提供	转让后买方可获得
	企业	个人	专利代理委托书专利权转让协议办理文件副本请求书发明人变更声明	专利证书手续合格通知书专利登记簿副本
买方	企业营业执照企业组织机构代码证	身份证
卖方	企业营业执照专利证书原件	身份证专利证书原件