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双频激光外差干涉相位测量大尺寸光学平面的装置及方法
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发明专利
专利类型 -
未知
专利状态 -
2019100092862
专利号
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专利信息
数据仅供参考，具体信息可联系在线顾问
| 专利号 | 2019100092862 | 专利名称 | 双频激光外差干涉相位测量大尺寸光学平面的装置及方法 |
|---|---|---|---|
| 专利类型 | 发明专利 | 国际分类 | G01J9/02(2006.01) |
| 申请人 | 申请地址 | 100144北京市石景山区晋元庄路5号 | |
| 发明人 | 申请日期 | 2019-01-04 | |
| 下证状态 | 未知 | 更新时间 | 2025-01-10 07:13:35 |
| 专利摘要 | 本发明涉及一种双频激光外差干涉相位测量大尺寸光学平面的装置，双频激光器的输出光路上设置有第一扩束系统，第一扩束系统的输出光路上设置有偏振分光棱镜，偏振分光棱镜的反射光方向设置有参考信号获取系统，偏振分光棱镜的透射光方向设置有待测信号获取系统，偏振分光棱镜的反射光方向的相反方向设置有偏振片，偏振片的输出光路上设置有分光镜，分光镜的透射光方向设置有第一光电探测器，分光镜的反射光方向设置有依次设置有待测信号测量系统。本发明还提供一种双频激光外差干涉相位测量大尺寸光学平面的方法。本发明所公开的测量装置和方法精度较高，且能测量较大面积的光学平面。 | ||
交易流程
转让材料
| 买卖双方需提供 | 平台提供 | 转让后买方可获得 | ||
|---|---|---|---|---|
| 企业 | 个人 | 专利代理委托书 专利权转让协议 办理文件副本请求书 发明人变更声明 | 专利证书 手续合格通知书 专利登记簿副本 | |
| 买方 | 企业营业执照 企业组织机构代码证 | 身份证 | ||
| 卖方 | 企业营业执照 专利证书原件 | 身份证 专利证书原件 | ||
服务保障
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