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一种扩散阻挡层制备方法及铜互连结构
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发明专利
专利类型 -
未知
专利状态 -
2017105349811
专利号
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专利信息
数据仅供参考，具体信息可联系在线顾问
| 专利号 | 2017105349811 | 专利名称 | 一种扩散阻挡层制备方法及铜互连结构 |
|---|---|---|---|
| 专利类型 | 发明专利 | 国际分类 | H01L21/768,H01L23/532 |
| 申请人 | 北方工业大学 | 申请地址 | 北京市石景山区晋元庄路5号 |
| 发明人 | 张静 | 申请日期 | 2017-07-03 |
| 下证状态 | 未知 | 更新时间 | 2025-01-10 07:12:53 |
| 专利摘要 | 本发明涉及一种扩散阻挡层制备方法及铜互连结构，所述制备方法包括以下步骤：在低k电介质层上沉积钼金属层，其中所述低k电介质层形成在硅片上，所述钼金属层的厚度为3‑5nm；对沉积的钼金属层进行退火处理，形成扩散阻挡层。本发明通过沉积钼金属层并进行退火处理，能够获得比现有技术更薄的扩散阻挡层，进一步降低了RC迟滞效应。 | ||
交易流程
转让材料
| 买卖双方需提供 | 平台提供 | 转让后买方可获得 | ||
|---|---|---|---|---|
| 企业 | 个人 | 专利代理委托书 专利权转让协议 办理文件副本请求书 发明人变更声明 | 专利证书 手续合格通知书 专利登记簿副本 | |
| 买方 | 企业营业执照 企业组织机构代码证 | 身份证 | ||
| 卖方 | 企业营业执照 专利证书原件 | 身份证 专利证书原件 | ||
服务保障
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