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专利号	2021105311168	专利名称	基于频分复用的自混合干涉多通道振动测量仪及测量方法
专利类型	发明专利	国际分类	G01H 9/00 (2006.01)
申请人	南京师范大学	申请地址	江苏省南京市栖霞区文苑路1号
发明人		申请日期	2021-05-16
下证状态	未知	更新时间	2025-01-10 07:06:41
专利摘要	基于频分复用的自混合干涉多通道振动测量仪及测量方法。半导体激光器输出的光垂直入射至透射式衍射光栅，形成各级次衍射光，每个级次衍射光形成一路振动测量通道。每路测量通道放置一个电光调制器对该级次衍射光束进行不同频率的相位调制，各个待测靶面置于电光调制器后方，使该级次衍射光经过电光调制器后垂直入射至待测靶面并沿原光路返回，再次入射至衍射光栅发生二次衍射；二次衍射光携带各个靶面振动信息沿激光器出射光的相反方向返回到激光器腔内与腔内光发生自混合干涉。利用频分复用技术处理自混合干涉信号，实时重构各个通道靶面振动波形。本发明系统结构简单紧凑，能同时对多通道多目标靶面振动进行实时探测，且测量分辨率高。

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