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一种TiO<sub>2</sub>/PS胶体光子晶体及其制备方法和在湿度传感器中的应用

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专利号 2020115242070 专利名称 一种TiO<sub>2</sub>/PS胶体光子晶体及其制备方法和在湿度传感器中的应用
专利类型 发明专利 国际分类 C30B25/06(2006.01),C30B25/18(2006.01),C30B29/58(2006.01),G01N21/25(2006.01),G01N21/41(2006.01),G01N21/47(2006.01)
申请人 申请地址 210024江苏省南京市鼓楼区宁海路122号
发明人 申请日期 2020-12-22
下证状态 未知 更新时间 2025-01-10 07:06:11
专利摘要 本发明公开了一种TiO2/PS胶体光子晶体及其制备方法和在湿度传感器中的应用,TiO2/PS胶体光子晶体包括PS单层微球膜和沉积于其上表面的TiO2薄膜,所述PS单层微球膜中微球直径为610~690nm,所述TiO2/PS胶体光子晶体呈周期性六角球壳阵列排布;通过微流注射法、反应离子刻蚀、磁控溅射相结合,在单层PS微球膜上沉积TiO2薄膜,形成尺寸可控的TiO2/PS胶体光子晶体;TiO2/PS胶体光子晶体结合TiO2的湿敏特性以及TiO2/PS胶体光子晶体的光学特征和周期性球壳阵列结构特性,将其应用于光学湿度传感器,将反射峰位置偏移与相对湿度相关联进行湿度检测。

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卖方 企业营业执照
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身份证
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