发明专利
专利类型未知
专利状态201610997567X
专利号专利号 | 201610997567X | 专利名称 | 斜抛光纤折射率传感器及其制备方法 |
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专利类型 | 发明专利 | 国际分类 | G01N21/41 |
申请人 | 申请地址 | 江苏省南京市亚东新城区文苑路1号 | |
发明人 | 申请日期 | 2016-11-11 | |
下证状态 | 未知 | 更新时间 | 2025-01-09 14:13:43 |
专利摘要 | 本发明公开了一种斜抛光纤折射率传感器及其制作方法。该传感器包括单模光纤、V型光纤槽以及胶体晶体膜,单模光纤的端面为45度的斜面,V型光纤槽位于胶体晶体膜的上方;单模光纤位于V型光纤槽内,其45度的斜面朝上;单模光纤的轴线与胶体晶体膜的平面平行。制作方法的主要步骤为:湿法腐蚀法在硅晶圆上制作V型光纤槽阵列,垂直沉积的方法制作一定厚度的胶体晶体膜阵列,再将胶体晶体膜基底和V型光纤槽粘贴固定,随后固定单模光纤将其压紧在V型光纤槽内,最后划片并封装。本发明的结构新颖、灵敏度高、可靠性好、线性测量范围大、成本低廉、可批量生产,能广泛应用于工业中的折射率检测。 |
买卖双方需提供 | 平台提供 | 转让后买方可获得 | ||
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企业 | 个人 |
专利代理委托书 专利权转让协议 办理文件副本请求书 发明人变更声明 |
专利证书 手续合格通知书 专利登记簿副本 |
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买方 |
企业营业执照 企业组织机构代码证 |
身份证 | ||
卖方 |
企业营业执照 专利证书原件 |
身份证 专利证书原件 |
专利状态:已下证
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