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专利号	2011102050603	专利名称	长玻璃柱体阳极键合的加热加压装置
专利类型	发明专利	国际分类	B81C1/00,H01L21/60
申请人	苏州大学	申请地址	江苏省苏州市工业园区仁爱路199号
发明人	陈涛	申请日期	2011-07-21
下证状态	未知	更新时间	2025-01-09 14:12:24
专利摘要	本发明公开了一种长玻璃柱体阳极键合的加热加电装置，其包括自适应压头、加热台、集成于加热台内的加热管、设于加热台上的加热块、安装于加热块上的陶瓷块、底座以及安装于底座上的气缸，所述自适应压头包括连杆、与连杆连接的绝缘块、压头座、安装在压头座内的压头、安装在压头座上的玻璃柱加电簧片、安装在绝缘块上的硅片加电簧片，所述自适应压头通过连杆与气缸连接，所述玻璃柱加电簧片包括两个，该两个玻璃柱加电簧片分别夹紧于玻璃柱的两侧。本发明采用从玻璃柱的两侧夹紧进行加电的方式，不但可以保证加电效果，大大提高键合效率，而且在玻璃柱很长的情况下，可以缩短键合时间，便于调整加电高度。

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