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一种水基微电子剥离清洗组合剂
院校-
发明专利
专利类型 -
未知
专利状态 -
201810771473X
专利号
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专利信息
数据仅供参考，具体信息可联系在线顾问
| 专利号 | 201810771473X | 专利名称 | 一种水基微电子剥离清洗组合剂 |
|---|---|---|---|
| 专利类型 | 发明专利 | 国际分类 | H01L21/02(2006.01),G03F7/42(2006.01) |
| 申请人 | 安徽建筑大学 | 申请地址 | 230000安徽省合肥市金寨路856号安徽建筑大学 |
| 发明人 | 郑长勇 | 申请日期 | 2018-07-13 |
| 下证状态 | 未知 | 更新时间 | 2025-01-10 07:39:56 |
| 专利摘要 | 本发明公开一种水基微电子剥离清洗组合剂，包括去离子水、杜邦EKC剥离液、亚仕兰ACT940剥离液、STRIPPER N311剥离液、安集idealclean960清洗液、过氧化氢、过硫酸钠、极性溶剂、腐蚀抑制剂，该组合剂各组分的重量份数为：去离子水75‑85重量份、杜邦EKC剥离液8‑12份、亚仕兰ACT940剥离液6‑10重量份、STRIPPER N311剥离液2‑6重量份、安集idealclean960清洗液3‑6重量份、过氧化氢5‑9重量份、过硫酸钠4‑7重量份、极性溶剂5‑10重量份、腐蚀抑制剂2‑5重量份。本发明具有操作温度低，有效剥离，不会对基底造成腐蚀，可用水直接漂洗，安全环保，降低清洗成本的特点。 | ||
交易流程
转让材料
| 买卖双方需提供 | 平台提供 | 转让后买方可获得 | ||
|---|---|---|---|---|
| 企业 | 个人 | 专利代理委托书 专利权转让协议 办理文件副本请求书 发明人变更声明 | 专利证书 手续合格通知书 专利登记簿副本 | |
| 买方 | 企业营业执照 企业组织机构代码证 | 身份证 | ||
| 卖方 | 企业营业执照 专利证书原件 | 身份证 专利证书原件 | ||
服务保障
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