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一种基于滑轨式侧翻原理的多段式半导体晶棒

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专利号 2019105641546 专利名称 一种基于滑轨式侧翻原理的多段式半导体晶棒
专利类型 发明专利 国际分类 B28D5/02,B28D7/04,B28D7/00
申请人 南安市建胤机械科技有限公司 申请地址 福建省泉州市南安市梅山镇光前南街7幢A座56号
发明人 张月梅 申请日期 2019-06-26
下证状态 已下证 更新时间 2026-09-03 17:50:49
专利摘要 本发明公开了一种基于滑轨式侧翻原理的多段式半导体晶棒,其结构包括切割主机、散热槽、控制器、固定支脚、检修门、设备主体、加工台面。本发明工件经过贯穿稳定组件后放置在侧衬条内,启动设备后稳定组件通过送料转轴带动工件分段前进,配合切割主机进行切割,加工产生的晶圆通过侧翻机构内的挑高板与引导板进行直立引导,最终立滚导轨与缓冲脚仔将其缓速导出,整体使用后有效确保了晶圆的质量,避免出料过程中磕碰损坏,且切割过程中对晶棒首尾都具备了稳定的限位控制,最大化降低了晶圆厚度的误差变量。

交易流程

转让材料

买卖双方需提供 平台提供 转让后买方可获得
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专利证书
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卖方 企业营业执照
专利证书原件
身份证
专利证书原件

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