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一种耐弱酸腐蚀的多孔氧化物薄膜的制备方法

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专利号 201811487086X 专利名称 一种耐弱酸腐蚀的多孔氧化物薄膜的制备方法
专利类型 发明专利 国际分类 C04B35/46;C04B38/02;C04B35/622;C04B35/81;C04B35/457;C04B35/624;B01J23/06
申请人 五邑大学 申请地址 广东省江门市蓬江区东成村22号
发明人 杨为家;王诺媛;刘艳怡;刘俊杰;刘铭全;何鑫;陈梅 申请日期 2018-12-06
下证状态 未知 更新时间 2023-03-01 10:14:53
专利摘要 本发明涉及薄膜技术领域,尤其是一种耐弱酸腐蚀的多孔氧化物薄膜的制备方法,本发明以醋酸盐为原料,以氯化锌、聚乙二醇为造孔剂,乙二醇为溶剂,通过高温烧结,以及采用弱酸腐蚀进一步造孔,最终得到耐弱酸腐蚀的多孔氧化物薄膜;本发明制备设备成熟,工艺简单,制备成本低;在烧结过程中,醋酸盐分解成耐弱酸的金属氧化物、水和二氧化碳,ZnCl2与醋酸根或者聚乙二醇一起反应,分解成ZnO、氯化氢、水、二氧化碳,氯化氢、水、二氧化碳挥发出来形成孔洞;由于ZnCl2速率较快,因而形成了长度较短的纳米柱;本发明制备晶须增强多孔ZnO薄膜,晶须是单晶ZnO纳米柱,具有优异的性能,可广泛应用于气敏探测器和光催化降解等领域。

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