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基于β-Ga<sub>2</sub>O<sub>3</sub>/SiC异质结薄膜的日盲型紫外探测器及其制备方法
院校-
发明专利
专利类型 -
未知
专利状态 -
2016101570707
专利号
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专利信息
数据仅供参考，具体信息可联系在线顾问
| 专利号 | 2016101570707 | 专利名称 | 基于β-Ga<sub>2</sub>O<sub>3</sub>/SiC异质结薄膜的日盲型紫外探测器及其制备方法 |
|---|---|---|---|
| 专利类型 | 发明专利 | 国际分类 | H01L31/18;H01L31/109 |
| 申请人 | 浙江理工大学 | 申请地址 | 浙江省杭州市江干经济开发区白杨街道2号大街928号 |
| 发明人 | 王顺利;安跃华;郭道友;李培刚;钱银平;王坤;唐为华 | 申请日期 | 2016-03-18 |
| 下证状态 | 未知 | 更新时间 | 2023-06-10 08:38:47 |
| 专利摘要 | 本发明涉及一种紫外探测器，具体是指一种基于β??Ga<sub>2</sub>O<sub>3</sub>/SiC异质结薄膜的日盲型紫外探测器及其制备方法。本发明是通过激光分子束外延技术在n型6H??SiC衬底上沉积一层β??Ga<sub>2</sub>O<sub>3</sub>薄膜，然后利用掩膜版并通过射频磁控溅射技术在n型6H??SiC衬底和β??Ga<sub>2</sub>O<sub>3</sub>薄膜上沉积一层Ti/Au薄膜作为电极使用。本发明的优点是：所制备的日盲型紫外探测器性能稳定，反应灵敏，暗电流小，具有好的潜在应用；另外，该制备方法具有工艺可控性强，操作简单，普适性好，且重复测试具有可恢复性等特点，具有很大的应用前景。 | ||
交易流程
转让材料
| 买卖双方需提供 | 平台提供 | 转让后买方可获得 | ||
|---|---|---|---|---|
| 企业 | 个人 | 专利代理委托书 专利权转让协议 办理文件副本请求书 发明人变更声明 | 专利证书 手续合格通知书 专利登记簿副本 | |
| 买方 | 企业营业执照 企业组织机构代码证 | 身份证 | ||
| 卖方 | 企业营业执照 专利证书原件 | 身份证 专利证书原件 | ||
服务保障
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